臭氧机应用于臭氧灭菌为溶菌级方法，杀菌，无残留，杀菌广谱，可杀灭细菌繁殖体和芽孢、病毒、真菌等，并可破坏肉毒杆菌毒素。另外，O3对霉菌也有的杀灭作用。O3由于稳定性差，很快会自行分解为氧气或单个氧原子，而单个氧原子能自行结合成氧分子，不存在任何有毒残留物，所以，O3是一种的消毒剂。
臭氧发生器O3为气体，能迅速弥漫到整个灭菌空间，灭菌无死角。
而传统的灭菌消毒方法，无论是紫外线，还是化学熏蒸法，都有不、有死角、工作量大、有残留污染或有异味等缺点，并有可能损害人体健康。如用紫外线消毒，在光线照射不到的地方没有效果，有衰退、穿透力弱、使用寿命不长等缺点。化学熏蒸法也存在不足之处，如对抗药性很强的细菌和病毒，则杀菌效果不明显。
活性氧（臭氧）灭菌消毒作用体现在它的强氧化性上，是公认的绿色广谱的消毒灭菌剂。广泛用于饮用水消毒，医疗卫生机构空气消毒，臭氧会在30-40分钟后自动还原成氧气，没有化学残留二次污染